Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates

0094366 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Dušek, J. - Buršíková, V. - Sobota, Jaroslav - Buršík, Jiří - Bláhová, O. - Klapetek, P. - Vladoiu, R. - Navrátil, V.
Study of Mechanical Properties of Metallic Surface Layers on Silicon Substrates.
[Studium mechanických vlastností kovových vrstev na křemíkové podložce.]
Nano'07 - 6th International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic. Brno: CSNMT, 2007, s. 54. ISBN 978-80-214-3460-8.
[Nano'07 - International Conference on Nanosciences and Nanotechnologies in the Czech Republic /6./. Brno (CZ), 08.10.2007-10.10.2007]
Grant CEP: GA AV ČR KAN311610701
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z20410507
Klíčová slova: metallic surface layers * silicon substrates
Kód oboru RIV: JI - Kompozitní materiály

The mechanical properties of metallic thin films deposited on silicon by magnetron sputtering and Thermoionic vacuum arc were studied using two different type of indentation methods - the depth sensing indentation test (DSI) and the continuous stiffness measurement method (CSM).

Mechanické vlastnosti tenkých kovových vrstev deponovaných na křemíkovou podložku magnetronovým naprašováním a termoionickým vakuovým obloukem byly studovány použitím dvou různých indentačních metod DSI a CSM.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0154191