Počet záznamů: 1  

Ultrafast infrared laser crystallization of amorphous Si/Ge multilayer structures

  1. 1.
    SYSNO0571963
    NázevUltrafast infrared laser crystallization of amorphous Si/Ge multilayer structures
    Tvůrce(i) Bulgakov, Alexander (FZU-D) ORCID
    Beránek, Jiří (FZU-D)
    Volodin, V.A. (RU)
    Cheng, Y. (RU)
    Levy, Yoann (FZU-D)
    Nagisetty, S.S. (DE)
    Zukerstein, Martin (FZU-D) ORCID
    Popov, A. A. (RU)
    Bulgakova, Nadezhda M. (FZU-D) ORCID
    Korespondující/seniorBulgakova, Nadezhda M. - Korespondující autor
    Zdroj.dok. Materials. Roč. 16, č. 9 (2023). - : MDPI
    Číslo článku3572
    Druh dok.Článek v odborném periodiku
    Grant CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_003/0000445, XE - země EU
    EF15_003/0000445 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    Institucionální podporaFZU-D - RVO:68378271
    Jazyk dok.eng
    Země vyd.CH
    Klíč.slova silicon–germanium multilayer structures * thin films * ultrashort infrared laser annealing * selective crystallization * defect accumulation * Raman spectroscopy
    URLhttps://hdl.handle.net/11104/0342818
    Trvalý linkhttps://hdl.handle.net/11104/0342818
    Název souboruStaženoVelikostKomentářVerzePřístup
    0571963.pdf011.6 MBCC licenceVydavatelský postprintpovolen
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.