Počet záznamů: 1
Ion energy distribution of plasma ions of a hollow cathode discharge in Ar + N.sub.2./sub. and Ar + O.sub.2./sub. gas mixtures
- 1.
SYSNO 0564937 Název Ion energy distribution of plasma ions of a hollow cathode discharge in Ar + N2 and Ar + O2 gas mixtures Tvůrce(i) Hippler, Rainer (FZU-D) ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAIKorespondující/senior Hippler, Rainer - Korespondující autor Zdroj.dok. European Physical Journal D. Roč. 76, č. 11 (2022). - : Springer Číslo článku 214 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant GA21-04477S GA ČR - Grantová agentura ČR, CZ - Česká republika CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, XE - země EU EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. DE Klíč.slova plasma jet * plasma sputtering * ion * oxygen * nitrogen URL https://hdl.handle.net/11104/0336517 Trvalý link https://hdl.handle.net/11104/0336517 Název souboru Staženo Velikost Komentář Verze Přístup 0564937.pdf 0 749.6 KB CC Licence Vydavatelský postprint povolen
Počet záznamů: 1