Počet záznamů: 1
Ion energy distribution of plasma ions of a hollow cathode discharge in Ar + N.sub.2./sub. and Ar + O.sub.2./sub. gas mixtures
- 1.
SYSNO ASEP 0564937 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Ion energy distribution of plasma ions of a hollow cathode discharge in Ar + N2 and Ar + O2 gas mixtures Tvůrce(i) Hippler, Rainer (FZU-D) ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 3 Číslo článku 214 Zdroj.dok. European Physical Journal D. - : Springer - ISSN 1434-6060
Roč. 76, č. 11 (2022)Poč.str. 7 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. DE - Německo Klíč. slova plasma jet ; plasma sputtering ; ion ; oxygen ; nitrogen Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP GA21-04477S GA ČR - Grantová agentura ČR EF16_019/0000760 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Způsob publikování Open access Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000885025400001 EID SCOPUS 85141557936 DOI 10.1140/epjd/s10053-022-00539-8 Anotace A hollow cathode discharge with a Ti cathode and a positively biased ring anode was operated in Ar + N2 or Ar + O2 gas mixtures. The energy distribution of plasma ions is investigated with the help of energy-resolved mass spectrometry. Singly and doubly charged Ar+ and Ar2+ ions and molecular N2+ or O2+ ions are the most abundant ionic species. The kinetic energy of all plasma ions is enhanced by a positive anode voltage. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://hdl.handle.net/11104/0336517
Počet záznamů: 1