Počet záznamů: 1
Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications
- 1.
SYSNO 0540754 Název Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications Tvůrce(i) Zehetner, J. (AT)
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Izsák, Tibor (FZU-D) ORCID
Vanko, G. (SK)
Gajdošová, L. (AT)
Kasemann, S. (AT)Zdroj.dok. Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems. S. 1-3. - Basel : MDPI, 2020 / Köck A. ; Deluca M. Konference International Conference on Functional Integrated nano Systems (nanoFIS 2020) /4./, 02.11.2020 - 04.11.2020, Online Číslo článku 13 Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant 8X20035 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. CH Klíč.slova diamond * GaN * MEMS * laser ablation Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0318359
Počet záznamů: 1