Počet záznamů: 1  

Speciální fotomaska pro měření zkreslení rekonstrukce obrazu

  1. 1.
    SYSNO0536218
    NázevSpeciální fotomaska pro měření zkreslení rekonstrukce obrazu
    Překlad názvuSpecial photomask for image distortion measurement of projection optics
    Tvůrce(i) Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Fořt, Tomáš (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Úlehla, L. (CZ)
    Moťka, L. (CZ)
    Vyd. údaje2020
    PoddruhFunkční vzorek
    Int.kódAPL-2020-04
    Technické parametryMotiv kovové masky obsahuje matici přesně velikých čtvercových útvarů sloužících ke kontrole nastavení výrobního procesu
    Ekonomické parametryFunkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Stanislav Krátký, kratky@isibrno.cz
    Název vlastníkaÚstav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
    Číselná identifikaceAPL-2020-04
    Druh dok.Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
    Grant TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika
    Institucionální podporaUPT-D - RVO:68081731
    Jazyk dok.cze
    Země vyd.CZ
    Klíč.slova e–beam lithography * reactive ion etching
    Trvalý linkhttp://hdl.handle.net/11104/0314036
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.