Počet záznamů: 1

Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání

SYSNO	0499077
Název	Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
Překlad názvu	Spectroscopic system for deep reactive ion etching system
Tvůrce(i)	Šilhan, Lukáš (UPT-D) Šerý, Mojmír (UPT-D)_{RID, SAI} Maňka, Tadeáš (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	2018
Poddruh	Funkční vzorek
Int.kód	APL-2018-16
Technické parametry	Měřící systém slouží pro měření spektrální odezvy substrátu v systému hlubokého iontového reaktivního leptání. Systém je vybaven multimodovým optickým vláknem pro sběr signálu z plazmové komory, precizní optomechanickou částí pro rozklad signálu do spektrální oblasti. K detekci signálu je použit citlivý řádkový senzor. Ke zpracování měřených dat je využita mikroprocesorová jednotka s USB připojením ovládána programem v jazyce Python. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení optomechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Ekonomické parametry	Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Bc. Lukáš Šilhan, silhan@isibrno.cz
Název vlastníka	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Číselná identifikace	APL-2018-16
Druh dok.	Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	DRIE * spectroscopy
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0291360

Počet záznamů: 1