Počet záznamů: 1
Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
- 1.ŠILHAN, Lukáš, ŠERÝ, Mojmír, MAŇKA, Tadeáš. Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání. Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., 2018. Funkční vzorek APL-2018-16.
Počet záznamů: 1