Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0452395
Název	Kombinace elektronové litografie s gaussovským svazkem a s proměnným tvarovaným svazkem
Překlad názvu	Combination of electron lithography with Gaussian and shaped beams
Tvůrce(i)	Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Meluzín, Petr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Jemná mechanika a optika. Roč. 60, č. 1 (2015), s. 10-13. - : Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam writer * Gausssian beam * variable shaped beam
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0253409

Počet záznamů: 1