Composition profiling of piezoelectric PZT thin films deposited onto Cu coated polymer substrates

Kleiner, A.; Suchaneck, G.; Adolphi, B.; Gerlach, G.; Lavrentiev, V.; Hubička, Zdeněk; Čada, Martin; Jastrabík, Lubomír; Dejneka, Alexandr

Počet záznamů: 1

Composition profiling of piezoelectric PZT thin films deposited onto Cu coated polymer substrates

1.

SYSNO ASEP	0391185
Druh ASEP	C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
Zařazení RIV	D - Článek ve sborníku
Název	Composition profiling of piezoelectric PZT thin films deposited onto Cu coated polymer substrates
Tvůrce(i)	Kleiner, A. (DE) Suchaneck, G. (DE) Adolphi, B. (DE) Gerlach, G. (DE) Lavrentiev, V. (RU) Hubička, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Dejneka, Alexandr (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	2012 International Symposium on Applications of Ferroelectrics held jointly with 11th IEEE ECAPD and IEEE PFM (ISAF/ECAPD/PFM). - New York : IEEE - Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2012 - ISSN 1099-4734 - ISBN 978-1-4673-2669-8
Rozsah stran	s. 1-3
Poč.str.	3 s.
Forma vydání	Tištěná - P
Akce	IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics held jointly with 11th ECAPD and 4th PFM /21./
Datum konání	09.07.2012-13.07.2012
Místo konání	Aveiro
Země	PT - Portugalsko
Typ akce	WRD
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	US - Spojené státy americké
Klíč. slova	PZT ; thin film ; polymer substrate ; XPS ; RBS
Vědní obor RIV	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEZ	AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
UT WOS	000313016400058
Anotace	In this work, we investigate the composition profile of nanocrystalline Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films deposited by means of reactive magnetron sputtering from 200 mm diameter metallic targets (Pb, Ti, Zr). High-power pulse sputtering has been employed for alternatively the Zr- or Ti-target. Composition analysis and profiling was performed by means of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and Rutherford backscattering (RBS). RBS data was recalibrated to exclude hydrogen content not determined by XPS. Advantages and drawbacks of both methods for PZT composition profiling are discussed.
Pracoviště	Fyzikální ústav
Kontakt	Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
Rok sběru	2013

Počet záznamů: 1