Počet záznamů: 1
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films
- 1.0389069 - FZÚ 2013 RIV GB eng J - Článek v odborném periodiku
Ižák, Tibor - Kromka, Alexander - Babchenko, Oleg - Ledinský, Martin - Hruška, Karel - Verveniotis, Elisseos
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films.
Vacuum. Roč. 86, č. 6 (2012), s. 799-802. ISSN 0042-207X. E-ISSN 1879-2715
Grant CEP: GA AV ČR KAN400100701; GA AV ČR(CZ) IAAX00100902; GA AV ČR(CZ) KAN400480701
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: polycrystalline diamond * reactive ion etching * smoothing * diamond nanorods
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Impakt faktor: 1.530, rok: 2012
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X11002612
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0217970
Počet záznamů: 1