Počet záznamů: 1
Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films
SYS 0389069 LBL 02583^^^^^2200397^^^450 005 20240103202152.6 014 $a 000301018400053 $2 WOS 017 70
$a 10.1016/j.vacuum.2011.07.023 $2 DOI 100 $a 20130207d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a GB 200 1-
$a Comparative study on dry etching of polycrystalline diamond thin films 215 $a 4 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0257687 $1 011 $a 0042-207X $e 1879-2715 $1 200 1 $a Vacuum $v Roč. 86, č. 6 (2012), s. 799-802 $1 210 $c Elsevier 610 0-
$a polycrystalline diamond 610 0-
$a reactive ion etching 610 0-
$a smoothing 610 0-
$a diamond nanorods 700 -1
$3 cav_un_auth*0258087 $a Ižák $b Tibor $i Optické materiály $j Optical Materials $p FZU-D $w Optical Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100328 $a Kromka $b Alexander $i Optické materiály $j Optical Materials $p FZU-D $w Optical Materials $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0247344 $a Babchenko $b Oleg $i Optické materiály $j Optical Materials $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100351 $a Ledinský $b Martin $i Tenké vrstvy a nanostruktury $j Thin Films and Nanostructures $p FZU-D $w Thin Films and Nanostructures $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0247345 $a Hruška $b Karel $i Spintronika a nanoelektronika $j Spintronics and Nanoelectronics $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258678 $a Verveniotis $b Elisseos $i Tenké vrstvy a nanostruktury $j Thin Films and Nanostructures $p FZU-D $4 070 $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 856 $u http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X11002612
Počet záznamů: 1