Počet záznamů: 1
Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen
- 1.
SYSNO ASEP 0368783 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Films Modified by Silicon, Oxygen or Nitrogen Tvůrce(i) Bursíková, V. (CZ)
Sťahel, P. (CZ)
Gardelka, T. (CZ)
Bochnicek, Z. (CZ)
Peřina, Vratislav (UJF-V) RID
Havránek, Vladimír (UJF-V) RID, SAI, ORCID
Mikšová, Romana (UJF-V) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 7 Zdroj.dok. SAPP 18th Symposium on Application of Plasma Processes SAPP XVIII , Workshop on Plasmas as a Planetary. - Bratislava : Department of Experimental Physics, Faculty of Mathematics,, 2011 / Országh J. ; Papp P. ; Matejčík Š. - ISBN 978-80-89186-77-8 Rozsah stran pp.347-pp.402 Poč.str. 55 s. Forma vydání Tištěná - P Akce 18th Symposium on Application of Plasma Processes and Datum konání 15.01.2011-20.01.2011 Místo konání Vrátna dolina Země SK - Slovensko Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova Spectroscopy ; silicon oxide Vědní obor RIV BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače CEP GA202/07/1669 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z10480505 - UJF-V (2005-2011) Anotace Diamond-like carbon coatings with various silicon-oxide content were deposited on different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in capacitively coupled r.f. discharge (13.56 MHz). Complete atomic compositions, including hydrogen content and film densities, were determined by combination of RBS and ERD analyses. The complex dielectric function of the films was determined from ellipsometric measurements in the range 1.5-5.2 eV. The mechanical properties of prepared coatings (e.g. hardness, elastic modulus, fracture toughness, coating/substrate adhesion etc.) were studied by means of depth sensing indentation technique using Fischerscope H100 tester. The effect of intrinsic stress on the coating properties was investigated. Pracoviště Ústav jaderné fyziky Kontakt Markéta Sommerová, sommerova@ujf.cas.cz, Tel.: 266 173 228 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1