Počet záznamů: 1  

Measuring the ion flux to the deposition substrate in the hollow Cathode plasma jet

  1. 1.
    SYSNO ASEP0308119
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevMeasuring the ion flux to the deposition substrate in the hollow Cathode plasma jet
    Překlad názvuMěření iontového toku na depoziční substrát u plazmové trysky s efektem duté katody
    Tvůrce(i) Virostko, Petr (FZU-D)
    Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
    Adámek, Petr (FZU-D) RID, ORCID
    Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
    Tichý, M. (CZ)
    Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
    Zdroj.dok.Plasma 2007. - Melville, New York : American Instritute of Physics, 2008 / Hartfuss H.-J. ; Dudeck M. ; Muslelok J. ; Sadowski M.J. - ISBN 978-0-7354-0512-7
    Rozsah strans. 427-430
    Poč.str.4 s.
    AkceInternational Conference on Research and Applications of Plasmas, German-Polish Conference on Plasma Diagnostics for Fusion and Laboratory /4./ and French-Polish Seminar on Thermal Plasma in Space and Laboratory /6./
    Datum konání16.10.2007-19.10.2007
    Místo konáníGreifswald
    ZeměDE - Německo
    Typ akceWRD
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.US - Spojené státy americké
    Klíč. slovahollow cathode ; plasma jet ; ion flux ; deposition of thin films
    Vědní obor RIVBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    CEPKAN301370701 GA AV ČR - Akademie věd
    1M06002 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
    KAN400720701 GA AV ČR - Akademie věd
    GA202/06/0776 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011)
    UT WOS000254902600091
    AnotaceMeasurements of positive ion flux to a negatively biased substrate for deposition of TiOx thin films by the hollow cathode plasma jet system are presented. Different methods of obtaining the bias of substrate and measuring the resulting ion flux were used for different bias frequencies.
    PracovištěFyzikální ústav
    KontaktKristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579
    Rok sběru2008
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.