Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO ASEP	0178058
Druh ASEP	J - Článek v odborném periodiku
Zařazení RIV	J - Článek v odborném periodiku
Poddruh J	Ostatní články
Název	Raman bands in microwave plasma assisted chemical vapour deposited films
Tvůrce(i)	Kadlečíková, M. (SK) Breza, J. (SK) Veselý, M. (SK) Frgala, Z. (CZ) Kudrle, V. (CZ) Janča, J. (CZ) Janík, J. (SK) Buršík, Jiří (UFM-A)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Microelectronics Journal. - : Elsevier - ISSN 0026-2692 Roč. 34, č. 11 (2003), s. 1075-1077
Poč.str.	3 s.
Jazyk dok.	eng - angličtina
Země vyd.	NL - Nizozemsko
Klíč. slova	chemical vapour deposition ; diamond ; Raman spectroscopy
Vědní obor RIV	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP	IBS2041105 GA AV ČR - Akademie věd
	OC 527.20 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEZ	AV0Z2041904 - UFM-A
Anotace	Raman spectroscopy is employed to characterize thin diamond films deposited by microwave plasma assisted chemical vapour deposition technique using a gas mixture of methane and hydrogen. The surface morphology was analyzed by scanning electron microscopy.The submicron crystals on (100) facets of diamond crystals gave rise to bands in the Raman spectrum.
Pracoviště	Ústav fyziky materiálu
Kontakt	Yvonna Šrámková, sramkova@ipm.cz, Tel.: 532 290 485
Rok sběru	2004

Počet záznamů: 1