Počet záznamů: 1
SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec
- 1.
SYSNO 0549960 Název SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec Překlad názvu SMV-2021-31: TELIGHT aiming pattern Tvůrce(i) Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAIVyd. údaje Brno: TELIGHT Brno, s.r.o., 2021 Druh dok. Výzkumná zpráva Grant neveřejné zdroje Jazyk dok. cze Země vyd. CZ Klíč.slova e-beam lithography * optics * reactive ion etching Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0325852
Počet záznamů: 1