Počet záznamů: 1

SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec

SYSNO	0549960
Název	SMV-2021-31: TELIGHT zaměřovací obrazec
Překlad názvu	SMV-2021-31: TELIGHT aiming pattern
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Horáček, Miroslav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Vyd. údaje	Brno: TELIGHT Brno, s.r.o., 2021
Druh dok.	Výzkumná zpráva
Grant	neveřejné zdroje
Jazyk dok.	cze
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam lithography * optics * reactive ion etching
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0325852

Počet záznamů: 1