Počet záznamů: 1
Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude
- 1.
SYSNO 0534021 Název Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude Tvůrce(i) Kozák, T. (CZ)
Pajdarova, A.D. (CZ)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Mareš, P. (CZ)
Čapek, J. (CZ)Zdroj.dok. Plasma Sources Science & Technology. Roč. 29, č. 6 (2020), s. 1-10. - : Institute of Physics Publishing Číslo článku 065003 Druh dok. Článek v odborném periodiku Grant FV30177 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. GB Klíč.slova HiPIMS * bipolar HiPIMS * positive pulse * plasma diagnostics * mass spectroscopy URL https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab8fbb Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0312242
Počet záznamů: 1