Počet záznamů: 1
Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude
- 1.
SYSNO ASEP 0534021 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude Tvůrce(i) Kozák, T. (CZ)
Pajdarova, A.D. (CZ)
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Mareš, P. (CZ)
Čapek, J. (CZ)Celkový počet autorů 6 Číslo článku 065003 Zdroj.dok. Plasma Sources Science & Technology. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0963-0252
Roč. 29, č. 6 (2020), s. 1-10Poč.str. 10 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova HiPIMS ; bipolar HiPIMS ; positive pulse ; plasma diagnostics ; mass spectroscopy Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP FV30177 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000541901800001 EID SCOPUS 85087763595 DOI 10.1088/1361-6595/ab8fbb Anotace A bipolar HiPIMS discharge with a rectangular positive voltage pulse (with controllable amplitude, delay after the main negative pulse and positive pulse length) was systematically investigated by mass spectroscopy. The time-averaged spectra of ions measured at the substrate position exhibit a prominent high-energy peak. It is shown that the position of the peak can be varied by the positive pulse amplitude, its magnitude scales with the pulse length and its width can be slightly influenced by the length of the delay interval. Measurements of the plasma potential at the mass spectrometer position and time-resolved mass spectroscopy clearly show that the high-energy peak is formed by ions accelerated by the elevated plasma potential during the positive pulse. In addition, fine details of the ion energy distribution functions related to the plasma potential transients at the start of the positive pulse are identified. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021 Elektronická adresa https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab8fbb
Počet záznamů: 1