Počet záznamů: 1
Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude
SYS 0534021 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103224649.4 014 $a 85087763595 $2 SCOPUS 014 $a 000541901800001 $2 WOS 017 70
$a 10.1088/1361-6595/ab8fbb $2 DOI 100 $a 20201105d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng 102 $a GB 200 1-
$a Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude 215 $a 10 s. 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0254752 $1 011 $a 0963-0252 $e 1361-6595 $1 200 1 $a Plasma Sources Science & Technology $v Roč. 29, č. 6 (2020), s. 1-10 $1 210 $c Institute of Physics Publishing 608 $a Article 610 $a HiPIMS 610 $a bipolar HiPIMS 610 $a positive pulse 610 $a plasma diagnostics 610 $a mass spectroscopy 700 -1
$3 cav_un_auth*0398754 $a Kozák $b T. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0398755 $a Pajdarova $b A.D. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0100168 $a Čada $b Martin $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100245 $a Hubička $b Zdeněk $p FZU-D $i Nízkoteplotní plazma $j Low-Temperature Plasma $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0073201 $a Mareš $b P. $y CZ 701 -1
$3 cav_un_auth*0017865 $a Čapek $b J. $y CZ 856 $u https://doi.org/10.1088/1361-6595/ab8fbb $9 RIV
Počet záznamů: 1