Vývoj procesu mytí a příprava povrchu před depozicí
1.
SYSNO ASEP
0499510
Druh ASEP
V - Výzkumná zpráva
Zařazení RIV
V – výzkumná zpráva
Název
Vývoj procesu mytí a příprava povrchu před depozicí
Překlad názvu
Development of the cleaning process and predeposition treatment of an optical surface
Tvůrce(i)
Budasz, Jiří (UFP-V)
Celkový počet autorů
1
Vyd. údaje
Turnov: Ministerstvo průmyslu a obchodu, 2018
Poč.str.
10 s.
Forma vydání
Tištěná - P
Jazyk dok.
cze - čeština
Země vyd.
CZ - Česká republika
Klíč. slova
High reflective coatings ; cleaning ; pre-deposition treatment
Vědní obor RIV
BH - Optika, masery a lasery
Obor OECD
Optics (including laser optics and quantum optics)
CEP
FV10071 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora
UFP-V - RVO:61389021
Anotace
Zpráva popisuje vývoj mycího postupu substrátů pro výrobu superodrazných zrcadel. Zahrnuje také vývoj procesu ošetření povrchu ve vakuu.
Překlad anotace
The report deals with a development of cleaning precedure of substrates used for producing high reflective mirrors. It involves pre-deposition treatment of the surface in vacuum chamber.
