kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0487982
Název	kW-class picosecond thin-disc prepulse laser Perla for efficient EUV generation
Tvůrce(i)	Endo, Akira (FZU-D)_RID Smrž, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID} Mužík, Jiří (FZU-D)_ORCID Novák, Ondřej (FZU-D)_{RID, ORCID} Chyla, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID} Mocek, Tomáš (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS . Roč. 16, č. 4 (2017), s. 1-6
Číslo článku	041011
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	GA16-12960S GA ČR - Grantová agentura ČR
	CZ.02.1.01/0.0/0.0/15_006/0000674, XE - země EU
	LM2015086 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	739573, XE - země EU
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	EUV source * laser produced plasma * FEL * prepulse * thin-disc laser
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0282612

Počet záznamů: 1