Multitarget sputtering of PZT-containing mixed oxide thin films onto copper-coated kapton substrates

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0486358
Název	Multitarget sputtering of PZT-containing mixed oxide thin films onto copper-coated kapton substrates
Tvůrce(i)	Kleiner, A. (DE) Suchaneck, G. (DE) Dejneka, Alexandr (FZU-D)_{RID, ORCID} Jastrabík, Lubomír (FZU-D)_{RID, ORCID} Lavrentev, Vasyl (FZU-D) Kiselev, D.A. (RU) Gerlach, G. (DE)
Zdroj.dok.	Proceedings of International Conference On Oxide Materials For Electronic Engineering (OMEE). S. 19-20. - New York : IEEE, 2014 / Shpotyuk M.V.
Konference	2014 IEEE International Conference On Oxide Materials For Electronic Engineering (OMEE), 26.05.2014 - 30.05.2014, Lviv
Číslo článku	6912320
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	complex oxide film deposition * multitarget reactive sputtering * flexible polymer substrate * composition profile * piezoresponse force microscopy * PZT
URL	http://ieeexplore.ieee.org/document/6912320/
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0281194

Počet záznamů: 1