Počet záznamů: 1  

Comparison of imaging with SE ionization and BSE scintillation detector in ESEM

  1. 1.
    SYSNO ASEP0205649
    Druh ASEPC - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.)
    Zařazení RIVD - Článek ve sborníku
    NázevComparison of imaging with SE ionization and BSE scintillation detector in ESEM
    Tvůrce(i) Autrata, Rudolf (UPT-D)
    Neděla, Vilém (UPT-D) RID, ORCID, SAI
    Horký, D. (CZ)
    Schauer, Petr (UPT-D) RID, SAI, ORCID
    Zdroj.dok.Proceedings of the 6th Multinational Congress on Microscopy - European Extension / Milat O. ; Ježek D.. - Zagreb : Croatian Society for Electron Microscopy, 2003
    Rozsah strans. 487 - 488
    Poč.str.2 s.
    AkceMCEM
    Datum konání01.06.2003-05.06.2003
    Místo konáníPula
    ZeměHR - Chorvatsko
    Typ akceEUR
    Jazyk dok.eng - angličtina
    Země vyd.HR - Chorvatsko
    Klíč. slovaionisation detector ; scintillation detector ; environmental microscope
    Vědní obor RIVJA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
    CEPGA102/01/1271 GA ČR - Grantová agentura ČR
    CEZAV0Z2065902 - UPT-D
    AnotaceEnvironmental scanning electron microscopy (ESEM) or low-vacuum scanning electron microscopy (LV SEM) enables the visualisation of samples in a gaseous environment at the pressure of the specimen chamber from 1 Pa to over 1000 Pa. Detection of signal electrons, namely secondary electrons (SEs) cannot be realised in a gaseous environment of the specimen chamber in the same way as for the high vacuum SEM, because high voltage of the Everhart-Thornley detector is not compatible with the conductance of the low vacuum environment [1]. For this reason, gaseous ions which are ionised by SEs from the specimen are used for the detection in ESEM. For the detection of the backscattered electrons (BSEs), conventional scintillation detector is the best to use.
    PracovištěÚstav přístrojové techniky
    KontaktMartina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178
    Rok sběru2004

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.