Počet záznamů: 1
Patterning of conductive nano-layers on garnet
- 1.
SYSNO ASEP 0543745 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Patterning of conductive nano-layers on garnet Tvůrce(i) Chlumská, Jana (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lalinský, Ondřej (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 5 Zdroj.dok. NANOCON 2020. 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application. Conference proceedings. - Ostrava : TANGER, 2021 - ISSN 2694-930X - ISBN 978-80-87294-98-7 Rozsah stran (2021), s. 221-224 Poč.str. 4 s. Forma vydání Online - E Akce International Conference NANOCON 2020 /12./ Datum konání 21.10.2020 - 23.10.2020 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova Electron beam lithography ; nano-patterning ; yttrium aluminium garnet Vědní obor RIV JJ - Ostatní materiály Obor OECD Nano-processes (applications on nano-scale) CEP TN01000008 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000664505500037 EID SCOPUS 85106021450 DOI 10.37904/nanocon.2020.3731 Anotace Synthetic crystalline materials of the garnet group are used as scintillators in scanning electron microscopy. If a thick conductive layer is applied on the garnet surface, slower electrons don't have enough energy to pass through this relatively thick conductive layer on the scintillator surface. Therefore, either thinner conductive layer or appropriate patterning of the thicker layer has to be used. Within this contribution we study the patterning process of such conductive nano-layer. Resolution of the patterning process is of high interest. Two approaches are compared: direct writing electron beam lithography and mask projection UV lithography. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2022 Elektronická adresa https://www.confer.cz/nanocon/2020/3731-patterning-of-conductive-nano-layer-on-garnet
Počet záznamů: 1