Počet záznamů: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.
SYSNO ASEP 0537056 Druh ASEP L - Prototyp, funkční vzorek Zařazení RIV G - Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) Poddruh RIV Funkční vzorek Název Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém Překlad názvu Optimized surfatron plasma source for PE-ALD deposition system Tvůrce(i) Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Tvarog, Drahoslav (FZU-D) ORCID
Kapran, Anna (FZU-D) ORCID
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Poruba, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)Rok vydání 2020 Int.kód FVMF1/FZU/2020 Technické parametry Vnější průměr křemenné trubičky: 6 mm, vnitřní průměr křemenné trubičky: 4 mm, výstupní tryska: kónická tryska, typ surfatron: mosazný rezonátor typu SAIREM s integrovanou přizpůsobovací jednotkou. Ekonomické parametry Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Název vlastníka Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. IČ vlastníka 68378271 Kat.výsl.dle nákl. A - Vyčerpaná část nákladů <= 5 mil. Kč Požad. na licenč. popl. Z - Poskytovatel licence nepožaduje v některých případech licenční poplatek Číselná identifikace FVMF1/FZU/2020 Jazyk dok. cze - čeština Země vlastníka CZ - Česká republika Klíč. slova microwave surfatron ; MinimalFab ; low-temperature plasma ; ALD ; RF plasma Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP TM01000039 GA TA ČR - Technologická agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli a implementovali mikrovlnný tryskový zdroj plazmatu ve dvou uspořádáních nazývaný surfatron vhodný pro použití v MinimalFab systému. Charakterizace generovaného plazmatu prokázala, že surfatronový zdroj plazmatu je schopný generovat nízkoteplotní plazma v rozsahu tlaků 1 Pa až 200 Pa. Dále pak lze provozovat plazmový zdroj v čistém inertním plynu, kyslíku, dusíku nebo jejich směsích. Překlad anotace Within the TAČR project, we developed and implemented a microwave plasma-jet source in two configurations called a surfatron suitable for use in the Minimal Fab system. Characterization of the generated plasma showed that the surfatron plasma source is able to generate low-temperature plasma in the pressure range of 1 Pa to 200 Pa. Furthermore, the plasma source can be operated in pure inert gas, oxygen, nitrogen or mixtures thereof. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2021
Počet záznamů: 1