Počet záznamů: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.Čada, M., Tvarog, D., Kapran, A., Hubička, Z., Poruba, A., Dolák, J. Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2020. Funkční vzorek FVMF1/FZU/2020.
Počet záznamů: 1