Počet záznamů: 1
Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém
- 1.ČADA, M., TVAROG, D., KAPRAN, A., HUBIČKA, Z., PORUBA, A., DOLÁK, J. Optimalizovaný surfatronový plazmový zdroj pro PE-ALD systém. Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 2020. Funkční vzorek FVMF1/FZU/2020.
Počet záznamů: 1