Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0532029
Název	Automated System for Optical Inspection of Defects in Resist-coated Non-patterned Wafer
Tvůrce(i)	Knápek, Alexandr (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Drozd, Michal (UPT-D) Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Král, Stanislav (UPT-D)_{RID, SAI} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Jordan Journal of Physics. Roč. 13, č. 2 (2020), s. 93-100. - : Yarmouk University
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	FV10618 GA MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	JO
Klíč.slova	optical inspection * resist layer * non-patterned wafer * quality control
URL	http://journals.yu.edu.jo/jjp/JJPIssues/Vol13No2pdf2020/1.html
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0310631

Počet záznamů: 1