Horizons in World Physics

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0517476
Název	Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases
Tvůrce(i)	Pokorný, Petr (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Novotný, Michal (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI}
Zdroj.dok.	Horizons in World Physics. S. 56-116. - New York : Nova Science Publishers Inc, 2019 / Reimer A.
ISBN	978-1-53614-712-4
Druh dok.	Část monografie, knihy (kapitola)
Grant	LO1409 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	GA16-22092S GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA18-17834S GA ČR - Grantová agentura ČR
	GA18-09347S GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	magnetron sputtering * noble gases * discharge * radicals * ions * contamination * mass spectrometry
URL	https://novapublishers.com/shop/horizons-in-world-physics-volume-297/
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0302782

Počet záznamů: 1