Počet záznamů: 1
Horizons in World Physics
- 1.
SYSNO ASEP 0517476 Druh ASEP M - Kapitola v monografii Zařazení RIV C - Kapitola v knize Název Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases Tvůrce(i) Pokorný, Petr (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 2 Zdroj.dok. Horizons in World Physics. - New York : Nova Science Publishers Inc, 2019 / Reimer A. - ISBN 978-1-53614-712-4 Rozsah stran s. 56-116 Poč.str. 61 s. Poč.str.knihy 228 Forma vydání Tištěná - P Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova magnetron sputtering ; noble gases ; discharge ; radicals ; ions ; contamination ; mass spectrometry Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP LO1409 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy GA16-22092S GA ČR - Grantová agentura ČR GA18-17834S GA ČR - Grantová agentura ČR GA18-09347S GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace The chapter deals with mass spectrometric characterization of atoms, radicals and ions in magnetron sputtering discharges generated in Ne, Ar, Kr and Xe gases. In these discharges, different kinds of species such as gas and metal atoms, radicals, negative and positive ions according to the magnetron target and the kind of sputtering gas used are generated. The amount of individual species and ion energy distribution functions as a function of the sputtering gas pressure and the magnetron power are investigated in detail. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2020
Počet záznamů: 1