Počet záznamů: 1
Horizons in World Physics
SYS 0517476 LBL 01000a^^22220027750^450 005 20240103223124.0 017 $2 DOI 100 $a 20191209d m y slo 03 ba 101 $a eng 102 $a US 200 1-
$a Radicals and ions in magnetron sputtering discharges in noble gases 215 $9 228 $a 61 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0517475 $1 010 $a 978-1-53614-712-4 $1 200 1 $a Horizons in World Physics $v S. 56-116 $1 210 $a New York $c Nova Science Publishers Inc $d 2019 $1 225 $v 297 $1 702 1 $4 340 $a Reimer $b A. 610 $a magnetron sputtering 610 $a noble gases 610 $a discharge 610 $a radicals 610 $a ions 610 $a contamination 610 $a mass spectrometry 700 -1
$3 cav_un_auth*0100459 $a Pokorný $b Petr $p FZU-D $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0100418 $a Novotný $b Michal $p FZU-D $i Analýza funkčních materiálů $j Analysis of Functional Materials $w Fabrication and Analysis of Functional Materials $T Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. 856 $u https://novapublishers.com/shop/horizons-in-world-physics-volume-297/
Počet záznamů: 1