Počet záznamů: 1
Silver micro drop structured twice around the earth
- 1.
SYSNO ASEP 0500944 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Silver micro drop structured twice around the earth Tvůrce(i) Meluzín, Petr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Tryhuk, V. (CZ)
Horáček, Miroslav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Knápek, Alexandr (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Krátký, Stanislav (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Matějka, Milan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Kolařík, Vladimír (UPT-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 7 Zdroj.dok. Metal 2018 - 27th International conference on metallurgy and materials, Conference Proceedings. - Ostrava : TANGER Ltd, 2018 - ISBN 978-80-87294-84-0 Rozsah stran s. 1175-1180 Poč.str. 6 s. Forma vydání Tištěná - P Akce International Conference on Metallurgy and Materials /27./. METAL 2018 Datum konání 23.05.2018 - 25.05.2018 Místo konání Brno Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova metallic thin layer ; planar surface structure ; phyllotactic spiral ; e-beam writer Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR TG03010046 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000461832200187 EID SCOPUS 85059434523 Anotace Planar micro structuring of thin metallic layers allows to achieve required surface properties of metallic layers covering bulk materials. Recently, the arrangement of micro holes or pillars placed around the primary spiral according to a phyllotactic model was presented. This deterministically aperiodic planar arrangement was used for benchmarking purposes of the e-beam writer patterning. This arrangement based on single primary spiral and a variety of derived secondary spirals has several interesting properties. One of them is a very low ratio between the area populated by individual micro elements and the length of the primary phyllotactic spiral. This paper presents analysis of the phyllotactic spiral length and the rising gradient at the spiral outer edge. The practical part of the presented work deals with the patterning of a thin silver layer deposited on the silicon or glass substrates using e-beam pattern generation, lithography techniques and related technologies. An interesting impact of the mentioned spiral properties on the e-beam writing strategies and the exposure ordering strategy are also discussed. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2019
Počet záznamů: 1