Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0494371
Název	Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition
Tvůrce(i)	Průcha, Lukáš (UPT-D)_ORCID Daniel, Benjamin (UPT-D)_RID Piňos, Jakub (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Mikmeková, Eliška (UPT-D)_RID
Korespondující/senior	Průcha, Lukáš - Korespondující autor
Zdroj.dok.	Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar. S. 60-61. - Brno : Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018
Konference	Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, 04.06.2018 - 08.06.2018, Skalský dvůr
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	TE01020118 GA TA ČR - Technologická agentura ČR, CZ - Česká republika
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	thermal desorption spectroscopy * CVD * surface cleaning * silicon
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0287627

Počet záznamů: 1