Počet záznamů: 1
Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition
- 1.0494371 - ÚPT 2019 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Průcha, Lukáš - Daniel, Benjamin - Piňos, Jakub - Mikmeková, Eliška
Thermal desorption spectroscopy in prototype furnace for chemical vapor deposition.
Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Proceedings of the 16th International Seminar. Brno: Institute of Scientific Instruments The Czech Academy of Sciences, 2018, s. 60-61. ISBN 978-80-87441-23-7.
[Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Skalský dvůr (CZ), 04.06.2018-08.06.2018]
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TE01020118; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: thermal desorption spectroscopy * CVD * surface cleaning * silicon
Obor OECD: Electrical and electronic engineering
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0287627
Počet záznamů: 1