Počet záznamů: 1
Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system
- 1.
SYSNO ASEP 0489658 Druh ASEP J - Článek v odborném periodiku Zařazení RIV J - Článek v odborném periodiku Poddruh J Článek ve WOS Název Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system Tvůrce(i) Zanáška, M. (CZ)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kudrna, P. (CZ)
Tichý, M. (CZ)Celkový počet autorů 5 Číslo článku 025205 Zdroj.dok. Journal of Physics D-Applied Physics. - : Institute of Physics Publishing - ISSN 0022-3727
Roč. 51, č. 2 (2018), s. 1-8Poč.str. 8 s. Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. GB - Velká Británie Klíč. slova plasma diagnostic ; floating harmonic probe ; Langmuir probe ; hollow cathode ; non-conducting film deposition Vědní obor RIV BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech Obor OECD Fluids and plasma physics (including surface physics) CEP GA15-00863S GA ČR - Grantová agentura ČR Způsob publikování Omezený přístup Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000418383500001 EID SCOPUS 85039694504 DOI 10.1088/1361-6463/aa9d3b Anotace The floating harmonic probe is a relatively new plasma diagnostic method, which was proposed for applications at conditions when insulating films are deposited on the probe and, consequently, the classical Langmuir probe method fails. In the floating harmonic probe method a purely sinusoidal AC voltage is applied to the probe constructed in a standard manner via a capacitor. From the spectral components of the measured AC probe current waveforms, the electron temperature and the positive ion density can be obtained. In this contribution we present the comparison of the electron temperature and density acquired by the floating harmonic probe method with those obtained by the classical Langmuir probe. The experiments are performed in the flowing DC discharge in argon. In addition, the results from the floating harmonic probe method obtained during deposition of an insulating iron oxide thin film are shown. All the data is complemented by the qualitative discussion. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2019 Elektronická adresa https://doi.org/10.1088/1361-6463/aa9d3b
Počet záznamů: 1