Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0464387
Název	Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes
Tvůrce(i)	Matějka, Milan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Řiháček, Tomáš (UPT-D)_{RID, ORCID} Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Chlumská, Jana (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID
Korespondující/senior	Matějka, Milan - Korespondující autor
Zdroj.dok.	NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings. S. 709-714. - Ostrava : Tanger, 2017
Konference	NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./, 19.10.2016 - 21.10.2016, Brno
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	e-beam writer * silicon nitride membranes * nano patterning * anisotropic etching
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0270768

Počet záznamů: 1