PEC reliability in 3D e-beam DOE nanopatterning

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0431332
Název	PEC reliability in 3D e-beam DOE nanopatterning
Tvůrce(i)	Kolařík, Vladimír (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Krátký, Stanislav (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Urbánek, Michal (UPT-D)_RID
Zdroj.dok.	9th International Conference on Charged Particle Optics. Book of Abstracts. S. 37. - Brno : Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i, 2014
Konference	International Conference on Charged Parrticle Optics /9./, Brno, 31.08.2014-05.09.2014
Druh dok.	Abstrakt
Grant	LO1212 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	TE01020233 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	CZ
Klíč.slova	proximity effect correction * diffractive optical elements
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0236392

Počet záznamů: 1