Počet záznamů: 1
PEC reliability in 3D e-beam DOE nanopatterning
SYS 0431332 LBL 03448^^^^^2200337^^^450 005 20240103204559.2 100 $a 20141105d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a PEC reliability in 3D e-beam DOE nanopatterning 215 $a 1 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0431329 $1 010 $a 978-80-87441-11-4 $1 200 1 $a 9th International Conference on Charged Particle Optics. Book of Abstracts $v S. 37 $1 210 $a Brno $c Institute of Scientific Instruments AS CR, v. v. i $d 2014 610 0-
$a proximity effect correction 610 0-
$a diffractive optical elements 700 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0287343 $a Krátký $b Stanislav $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Počet záznamů: 1