Počet záznamů: 1
Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction
SYS 0390977 LBL 02917^^^^^2200397^^^450 005 20240103202408.1 100 $a 20130319d m y slo 03 ba 101 0-
$a eng $d eng 102 $a CZ 200 1-
$a Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction 215 $a 6 s. $c P 463 -1
$1 001 cav_un_epca*0385781 $1 010 $a 978-80-87294-32-1 $1 200 1 $a NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings $v S. 717-722 $1 210 $a Ostrava $c TANGER Ltd $d 2012 610 0-
$a e-beam writer 610 0-
$a shaped beam 610 0-
$a proximity effect correction 700 -1
$3 cav_un_auth*0223246 $a Urbánek $b Michal $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101578 $a Kolařík $b Vladimír $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258195 $a Matějka $b Milan $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $w New Technologies $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0101592 $a Matějka $b František $i D2: Speciální technologie $j D2: New Technologies $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0276061 $a Bok $b Jan $i D1: Elektronová mikroskopie $j D1: Electron Microscopy $p UPT-D $4 070 $T Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. 701 -1
$3 cav_un_auth*0258664 $a Mikšík $b P. $y CZ $4 070 701 -1
$3 cav_un_auth*0258665 $a Vašina $b J. $y CZ $4 070
Počet záznamů: 1