Počet záznamů: 1
Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction
- 1.URBÁNEK, Michal, KOLAŘÍK, Vladimír, MATĚJKA, Milan, MATĚJKA, František, BOK, Jan, MIKŠÍK, P., VAŠINA, J. Shaped E-beam nanopatterning with proximity effect correction. In: NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings. Ostrava: TANGER Ltd, 2012, s. 717-722. ISBN 978-80-87294-32-1.
Počet záznamů: 1