Počet záznamů: 1
Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation
- 1.
SYSNO ASEP 0104234 Druh ASEP K - Konferenční příspěvek (lokální konf.) Zařazení RIV Stať ve sborníku Název Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation Překlad názvu Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CNx vrstev Tvůrce(i) Novotný, Michal (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jelínek, Miroslav (FZU-D) RID, ORCID
Bulíř, Jiří (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Lančok, Ján (FZU-D) RID, ORCID
Zelinger, Zdeněk (UFCH-W) RID, ORCIDZdroj.dok. Optické komunikace. - Praha : TechMarket, Praha, 2002
s. 124-125Poč.str. 2 s. Akce Workshop O.K. 2002 Datum konání 01.10.2002-05.10.2002 Místo konání Praha Země CZ - Česká republika Typ akce CST Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova CN x films ; hybrid PLD system Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus CEP IAA1010110 GA AV ČR - Akademie věd CEZ AV0Z1010914 - FZU-D Anotace We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OES Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2005
Počet záznamů: 1