Počet záznamů: 1
(100) substrate processing optimization for fabrication of smooth boron doped epitaxial diamond layer by PE CVD
- 1.0464790 - FZÚ 2018 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Mortet, Vincent - Fekete, Ladislav - Ashcheulov, Petr - Taylor, Andrew - Hubík, Pavel - Trémouilles, D. - Bedel-Pereira, E.
(100) substrate processing optimization for fabrication of smooth boron doped epitaxial diamond layer by PE CVD.
NANOCON 2014. 6th International conference proceedings. Ostrava: TANGER, 2015, s. 115-119. ISBN 978-80-87294-53-6.
[International Conference NANOCON /6./. Brno (CZ), 05.11.2014-07.11.2014]
Grant CEP: GA ČR GA13-31783S
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: doping * PE CVD * diamond * surface treatment * thin film
Obor OECD: Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0263568
Počet záznamů: 1