Počet záznamů: 1
Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes
- 1.0464387 - ÚPT 2018 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Matějka, Milan - Krátký, Stanislav - Řiháček, Tomáš - Kolařík, Vladimír - Chlumská, Jana - Urbánek, Michal
Nanopatterning of Silicon Nitride Membranes.
NANOCON 2016. 8th International Conference on Nanomaterials - Research and Application. Conference Proceedings. Ostrava: Tanger, 2017, s. 709-714. ISBN 978-80-87294-71-0.
[NANOCON 2016. International Conference on Nanomaterials - Research and Application /8./. Brno (CZ), 19.10.2016-21.10.2016]
Grant CEP: GA TA ČR TE01020233; GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: e-beam writer * silicon nitride membranes * nano patterning * anisotropic etching
Obor OECD: Nano-processes (applications on nano-scale)
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0270768
Počet záznamů: 1