Effect of plasma composition on nanocrystalline diamond layers deposited by a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition system

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0454568
Název	Effect of plasma composition on nanocrystalline diamond layers deposited by a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition system
Tvůrce(i)	Taylor, Andrew (FZU-D)_{RID, ORCID} Ashcheulov, Petr (FZU-D)_{ORCID, RID} Čada, Martin (FZU-D)_{RID, ORCID, SAI} Fekete, Ladislav (FZU-D)_{RID, ORCID} Hubík, Pavel (FZU-D)_{RID, ORCID} Klimša, Ladislav (FZU-D)_ORCID Olejníček, Jiří (FZU-D)_{RID, ORCID} Remeš, Zdeněk (FZU-D)_{RID, ORCID} Jirka, Ivan (UFCH-W)_{RID, ORCID} Janíček, P. (CZ) Bedel-Pereira, E. (FR) Kopeček, Jaromír (FZU-D)_{RID, ORCID} Mistrík, J. (CZ) Mortet, Vincent (FZU-D)_{RID, ORCID}
Zdroj.dok.	Physica Status Solidi A : Applications and Materials Science. Roč. 212, č. 11 (2015), s. 2418-2423. - : Wiley
Druh dok.	Článek v odborném periodiku
Grant	GA13-31783S GA ČR - Grantová agentura ČR
	CZ.2.16/3.1.00/21568, XE - země EU
	LO1409 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Institucionální podpora	FZU-D - RVO:68378271 ; UFCH-W - RVO:61388955
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	DE
Klíč.slova	diamond * electrical conductivity * nanocrystalline materials * optical emission spectroscopy * plasma enhanced chemical vapour deposition * SiC
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0255231

Počet záznamů: 1