Počet záznamů: 1
Static and dynamic VHF-deposition of microcrystalline silicon at 140 MHz with rates up to 2.5 nm/s
- 1.
SYSNO 0440680 Název Static and dynamic VHF-deposition of microcrystalline silicon at 140 MHz with rates up to 2.5 nm/s Tvůrce(i) Strobel, C. (DE)
Leszczynska, B. (DE)
Leszczynski, S. (DE)
Merkel, U. (DE)
Kuske, J. (DE)
Fischer, D.D. (DE)
Albert, M. (DE)
Holovský, Jakub (FZU-D) RID, ORCID
Bartha, J.W. (DE)Zdroj.dok. Proceedings of the 29th European Photovoltaic Energy Conference and Exhibition. S. 1917-1920. - Berlin : WIP, 2014 Konference European Photovoltaic Energy Conference and Exhibition /29./, 22.09.2014-26.09.2014, Amsterdam Druh dok. Konferenční příspěvek (zahraniční konf.) Grant 283501, XE - země EU Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Jazyk dok. eng Země vyd. DE Klíč.slova PECVD * microcrystalline silicon * solar cell * high rate * very high frequency URL http://www.eupvsec-proceedings.com/proceedings?fulltext=holovsky&paper=28281 Trvalý link http://hdl.handle.net/11104/0243779
Počet záznamů: 1