Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations

Počet záznamů: 1

1.

SYSNO	0386112
Název	Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations
Tvůrce(i)	Hrabina, Jan (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Lazar, Josef (UPT-D)_{RID, ORCID, SAI} Číp, Ondřej (UPT-D)_{RID, SAI, ORCID}
Zdroj.dok.	Optical Micro- and Nanometrology IV, (Proceedings of SPIE ), Vol. 8430. 84301D:1-9. - Bellingham : SPIE, 2012
Konference	Conference on Optical Micro- and Nanometrology IV, Brussels, 16.04.2012-18.04.2012
Druh dok.	Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Grant	ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
	LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy, CZ - Česká republika
	KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd
	GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR
	TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR
	GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR
Institucionální podpora	UPT-D - RVO:68081731
Jazyk dok.	eng
Země vyd.	US
Klíč.slova	nanometrology * interferometry * laser noise
Trvalý link	http://hdl.handle.net/11104/0215729

Počet záznamů: 1