Počet záznamů: 1
Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations
- 1.
SYSNO ASEP 0386112 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Uncertainties of displacement measurement of nanometrology coordinate measurement machines caused by laser source fluctuations Tvůrce(i) Hrabina, Jan (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Lazar, Josef (UPT-D) RID, ORCID, SAI
Číp, Ondřej (UPT-D) RID, SAI, ORCIDCelkový počet autorů 3 Zdroj.dok. Optical Micro- and Nanometrology IV, (Proceedings of SPIE ), Vol. 8430. - Bellingham : SPIE, 2012 - ISSN 0277-786X - ISBN 978-0-8194-9122-0 Rozsah stran 84301d:1-9 Poč.str. 9 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Conference on Optical Micro- and Nanometrology IV Datum konání 16.04.2012-18.04.2012 Místo konání Brussels Země BE - Belgie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova nanometrology ; interferometry ; laser noise Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery CEP ED0017/01/01 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy LC06007 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy KAN311610701 GA AV ČR - Akademie věd GA102/09/1276 GA ČR - Grantová agentura ČR TA02010711 GA TA ČR - Technologická agentura ČR GPP102/11/P820 GA ČR - Grantová agentura ČR Institucionální podpora UPT-D - RVO:68081731 UT WOS 000305704500043 EID SCOPUS 84862297485 DOI 10.1117/12.922439 Anotace One of considerable sources of displacement measurement uncertainty in nanometrology systems such as multidimensional interferometric positioning for local probe microscopy is the influence of amplitude and especially frequency noise of a laser source which powers the interferometers. We investigated the noise properties of several laser sources suitable for interferometry for micro- and nano-CMMs (coordinate measurement machines) and compared the results with the aim to find the best option. The influences of amplitude and frequency fluctuations were compared together with the noise and uncertainty contributions of other components of the whole measuring system. Frequency noise of investigated laser sources was measured by two approaches - at first with the help of frequency discriminator (Fabry-Perot resonator) converting the frequency (phase) noise into amplitude one and then directly through the measurement of displacement noise at the output of the interferometer fringe detection and position evaluation. Both frequency noise measurements and amplitude noise measurements were done simultaneously through fast and high dynamic range synchronous sampling to have the possibility to separate the frequency noise and to compare the recorded results. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2013
Počet záznamů: 1