Počet záznamů: 1
Combined detector for BSE, SE and BSE+SE detection in a low voltage SEM
- 1.
SYSNO ASEP 0205508 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Combined detector for BSE, SE and BSE+SE detection in a low voltage SEM Tvůrce(i) Autrata, Rudolf (UPT-D)
Jirák, Josef (UPT-D) RID
Romanovský, Vladimír (UPT-D)
Špinka, Jiří (UPT-D)Zdroj.dok. Proceedings of the 8th international seminar, held in Skalský dvůr / Frank L.. - Brno : Ústav přístrojové techniky Akademie věd České republiky, 2002 - ISBN 80-238-8986-9 Rozsah stran s. 49 - 50 Poč.str. 2 s. Akce Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation Datum konání 08.07.2002-12.07.2002 Místo konání Skalský dvůr Země CZ - Česká republika Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. CZ - Česká republika Klíč. slova low accelerating voltage ; electrons beam ; Everhart-Thornley Vědní obor RIV JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika CEP GA102/01/1271 GA ČR - Grantová agentura ČR CEZ AV0Z2065902 - UPT-D Anotace Specimen observation at a low accelerating voltage of the electron beam (around 1kV) is a new and attractive technique of scanning electron microscopy. While detection to the signal of secondary electrons (SE) with the help of the scintillation-photomultiplier system described by Everhart-Thornley does not depend on the primary beam energy, the detection of backscattered electrons (BSE), having their energy only a bit lower than energy of the beam, is limited by a low sensitivity of semiconductor or channel plate detectors to channel plate detectors to electrons of energy below 2 keV. Pracoviště Ústav přístrojové techniky Kontakt Martina Šillerová, sillerova@ISIBrno.Cz, Tel.: 541 514 178 Rok sběru 2003
Počet záznamů: 1