Počet záznamů: 1  

Silicon nitride films prepared by high energy ion beam enhanced deposition

  1. 1.
    0130345 - FZU-D 940437 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
    Zemek, Josef - Černý, F. - Závětová, Milena - Vaněček, Milan - Železný, Vladimír
    Silicon nitride films prepared by high energy ion beam enhanced deposition.
    Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B. Roč. 86, - (1994), s. 293-297. ISSN 0168-583X. E-ISSN 1872-9584
    Grant CEP: GA AV ČR IA11032
    Impakt faktor: 1.073, rok: 1994
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0028478

     
     

Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.