Počet záznamů: 1
LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment
- 1.
SYSNO ASEP 0569382 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název LIDT testing as a tool for optimization of processing window for D263 glass sheet TGV treatment Tvůrce(i) Vanda, Jan (FZU-D) RID, ORCID
Mydlář, Martin (FZU-D)
Pilná, Kateřina (FZU-D)
Turčičová, Hana (FZU-D) RID, ORCID
Pobořil, Radek (FZU-D) ORCID
Brajer, Jan (FZU-D) ORCID
Mocek, Tomáš (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Stoklasa, B. (CZ)
Venos, Š. (CZ)Celkový počet autorů 9 Číslo článku 1230003 Zdroj.dok. Laser-Induced Damage in Optical Materials 2022. - Bellingham : SPIE, 2022 / Carr C.W. ; Ristau D. ; Menoni C.S. - ISSN 0277-786X - ISBN 978-1-5106-5662-8 Poč.str. 11 s. Forma vydání Online - E Akce SPIE Laser Damage 2022 Datum konání 18.09.2022 - 22.09.2022 Místo konání New York Země US - Spojené státy americké Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. US - Spojené státy americké Klíč. slova TGV ; LIDT ; DPSSL ; laser ; ultra-short pulses Vědní obor RIV BH - Optika, masery a lasery Obor OECD Optics (including laser optics and quantum optics) CEP LO1602 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy TM01000021 GA TA ČR - Technologická agentura ČR LM2015086 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy EF15_006/0000674 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 UT WOS 000921048200002 EID SCOPUS 85148321312 DOI 10.1117/12.2642866 Anotace Laser-Induced Deep Etching (LIDE) is considered as the one of the most promising techniques for production of so-called TGVs (Through Glass Vias). In the production process, thin glass sheet is treated with ultra-short lasers pulses to induce surface and volume modification, allowing efficient wet etching and formation of through hole. Precise knowledge of damage threshold of such glass is essential when optimizing the whole process and scaling up the production via laser beam parallelization. In following paper, we present recent results on LIDT measurement of D263 glass sheets at wavelengths 1030 nm and 515 nm, effective utilization of such knowledge for setting up multi-Bessel beam processing optics, and we demonstrate resulting substrates with TGVs. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2023 Elektronická adresa https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/12300/2642866/LIDT-testing-as-a-tool-for-optimization-of-processing-window/10.1117/12.2642866.short?SSO=1
Počet záznamů: 1